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株式会社荏原製作所

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  2017年 出願公開件数ランキング    第123位 417件 上昇2016年:第233位 176件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第183位 176件 上昇2016年:第254位 129件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2017-187311 リーク検査装置 2017年10月12日
特開 2017-187392 ポンプ装置 2017年10月12日
特開 2017-188500 検査方法、検査装置及び検査システム 2017年10月12日
特開 2017-188523 基板処理装置および基板有無確認方法 2017年10月12日
特開 2017-188531 基板搬送装置および基板処理装置ならびに結露抑制方法 2017年10月12日
特開 2017-188642 搬送装置、洗浄装置および基板搬送方法 2017年10月12日
特開 2017-188695 基板処理装置 2017年10月12日
特開 2017-177271 基板処理装置 2017年10月 5日
特開 2017-177295 研磨装置 2017年10月 5日
特開 2017-177298 基板処理装置の異常検出システム及び方法 2017年10月 5日
特開 2017-177303 基板研磨装置、その洗浄方法および基板研磨装置への液体供給装置 2017年10月 5日
特開 2017-179788 悪臭防止型排水設備、および、悪臭防止型排水設備のための汚水槽を設置する方法 2017年10月 5日
特開 2017-179868 真空式汚水収集システムに使用される流れ検知装置、真空式汚水収集システム、真空弁監視装置及び監視方法 2017年10月 5日
特開 2017-180193 ディフューザ、及び多段ポンプ装置 2017年10月 5日
特開 2017-180241 ポンプおよびライナリング 2017年10月 5日

422 件中 61-75 件を表示

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2017-187311 2017-187392 2017-188500 2017-188523 2017-188531 2017-188642 2017-188695 2017-177271 2017-177295 2017-177298 2017-177303 2017-179788 2017-179868 2017-180193 2017-180241

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