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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第288位 133件
(2015年:第298位 135件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第233位 146件
(2015年:第226位 131件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5948097 | 基板の成膜装置 | 2016年 7月 6日 | |
特許 5948129 | 2個以上の孤立ホールが並んでなるパターンの形成方法 | 2016年 7月 6日 | |
特許 5945094 | 基板の洗浄方法 | 2016年 7月 5日 | |
特許 5945160 | 剥離装置および剥離方法 | 2016年 7月 5日 | |
特許 5941820 | レジスト組成物、レジストパターン形成方法及び高分子化合物 | 2016年 6月29日 | |
特許 5933920 | 塗布装置及び塗布方法 | 2016年 6月15日 | |
特許 5933993 | ノズルの洗浄装置 | 2016年 6月15日 | |
特許 5934565 | パターンの縮小方法、及び組成物 | 2016年 6月15日 | |
特許 5935303 | スプレーノズルおよびレジスト成膜装置 | 2016年 6月15日 | |
特許 5932512 | バンク形成用感光性樹脂組成物、バンク、及びバンクの形成方法 | 2016年 6月 8日 | |
特許 5933249 | レジストパターン形成方法及びレジスト組成物 | 2016年 6月 8日 | |
特許 5933328 | レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 | 2016年 6月 8日 | |
特許 5933334 | レジストパターン形成方法 | 2016年 6月 8日 | |
特許 5933339 | レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 | 2016年 6月 8日 | |
特許 5933364 | レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 | 2016年 6月 8日 |
154 件中 76-90 件を表示
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5948097 5948129 5945094 5945160 5941820 5933920 5933993 5934565 5935303 5932512 5933249 5933328 5933334 5933339 5933364
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