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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6868351 | レジストパターン形成方法、及びパターン厚肉化用ポリマー組成物 | 2021年 5月12日 | |
特許 6869680 | 濾過フィルター及び濾過方法、並びにリソグラフィー用薬液精製品の製造方法 | 2021年 5月12日 | |
特許 6871337 | 積層体の製造方法および基板の処理方法 | 2021年 5月12日 | |
特許 6865047 | インプリント用下層膜形成用組成物及びパターン形成方法 | 2021年 4月28日 | |
特許 6865318 | スルホニウム塩の合成方法 | 2021年 4月28日 | |
特許 6866193 | 紫外線照射装置及び紫外線照射方法 | 2021年 4月28日 | |
特許 6860978 | 感光性組成物 | 2021年 4月21日 | |
特許 6861313 | 微粒子含有組成物 | 2021年 4月21日 | |
特許 6861408 | 細胞培養用チップの製造方法 | 2021年 4月21日 | |
特許 6863682 | 送液性が改善されたフォトリソグラフィー用薬液及びこれを含むレジスト組成物{CHEMICAL FOR PHOTOLITHOGRAPHY WITH IMPROVED LIQUID TRANSFER PROPERTY AND RESIST COMPOSITION COMPRISING THE SAME} | 2021年 4月21日 | |
特許 6858209 | リソグラフィー用洗浄液、及び基板の洗浄方法 | 2021年 4月14日 | |
特許 6858902 | 配線基板用積層体、配線基板、及び配線基板用積層体の製造方法 | 2021年 4月14日 | |
特許 6856367 | 感光性組成物、硬化膜、発光表示素子用の発光層、発光表示素子、及び発光層の形成方法 | 2021年 4月 7日 | |
特許 6850533 | 層間絶縁膜形成用感光性樹脂組成物、層間絶縁膜及び層間絶縁膜の形成方法、並びにデバイス | 2021年 3月31日 | |
特許 6850567 | レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 | 2021年 3月31日 |
113 件中 61-75 件を表示
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