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株式会社ＳＵＭＣＯ

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株式会社ＳＵＭＣＯの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特開 2011-159696	シリコンウェーハ及びエピタキシャルウェーハの製造方法	2011年 8月18日
特開 2011-157224	シリコン単結晶の製造方法	2011年 8月18日
特開 2011-159698	シリコンウェーハの製造装置	2011年 8月18日
特開 2011-151405	半導体素子の表面平坦化方法	2011年 8月 4日	共同出願
特開 2011-148063	ウェーハ研磨加工液中の金属除去方法および装置	2011年 8月 4日
特開 2011-146504	気相成長装置用サセプタ及び気相成長装置	2011年 7月28日
特開 2011-146414	エピタキシャルウェーハの製造方法	2011年 7月28日
特開 2011-146460	シリコンウェーハの表面浄化方法	2011年 7月28日
特開 2011-146537	エピタキシャル成長装置	2011年 7月28日
特開 2011-146506	気相成長装置用サセプタ及び気相成長装置	2011年 7月28日
特開 2011-143489	研磨パッドの形状修正方法	2011年 7月28日
特開 2011-142257	エピタキシャルウェーハの製造装置	2011年 7月21日
特開 2011-134797	枚葉式エッチング装置及び方法	2011年 7月 7日
特開 2011-134828	半導体ウェーハおよびその製造方法	2011年 7月 7日
特開 2011-134935	シリコンウェーハ及びエピタキシャルウェーハ、並びにそれらの製造方法	2011年 7月 7日

221 件中 61-75 件を表示

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2011-159696 2011-157224 2011-159698 2011-151405 2011-148063 2011-146504 2011-146414 2011-146460 2011-146537 2011-146506 2011-143489 2011-142257 2011-134797 2011-134828 2011-134935

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