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株式会社ＳＵＭＣＯ

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株式会社ＳＵＭＣＯの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2020-200236	シリコン単結晶の製造方法	2020年12月17日
特開 2020-200229	シリコンウェーハのエッチング方法及び評価方法	2020年12月17日
再表 2019-123763	ＩＩＩ族窒化物半導体基板の製造方法	2020年12月17日
特開 2020-198444	エピタキシャル成長用の半導体ウェーハ、および半導体エピタキシャルウェーハの製造方法	2020年12月10日
特開 2020-197530	外観検査装置	2020年12月10日
再表 2019-167901	エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ	2020年12月 3日
再表 2019-107190	シリコン単結晶及びその製造方法並びにシリコンウェーハ	2020年12月 3日
特開 2020-189766	単結晶引き上げ装置の評価システム及び評価方法	2020年11月26日
特開 2020-186145	シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法	2020年11月19日
特開 2020-185641	研磨パッドの管理方法及び研磨パッドの管理システム	2020年11月19日
特開 2020-183331	石英ルツボ製造用モールド及びこれを用いた石英ルツボ製造装置	2020年11月12日
特開 2020-181897	半導体ウェーハの分析方法、半導体ウェーハ製造工程評価方法および半導体ウェーハの製造方法	2020年11月 5日
特開 2020-178039	シリコンウェーハのスリップ転位に対する耐性の評価方法	2020年10月29日
特開 2020-175450	評価体、評価システム、評価体の製造方法、および評価方法	2020年10月29日
特開 2020-175454	片面研磨装置へのウェーハ装填装置	2020年10月29日

93 件中 1-15 件を表示

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2020-200236 2020-200229 2019-123763 2020-198444 2020-197530 2019-167901 2019-107190 2020-189766 2020-186145 2020-185641 2020-183331 2020-181897 2020-178039 2020-175450 2020-175454

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