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株式会社SUMCO

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  2016年 出願公開件数ランキング    第455位 76件 上昇2015年:第570位 57件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第525位 51件 下降2015年:第272位 103件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2016-225444 エピタキシャル成長装置、エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャル成長装置用リフトピン 2016年12月28日
特開 2016-225445 エピタキシャル成長装置、エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャル成長装置用リフトピン 2016年12月28日
特開 2016-225447 半導体ウェーハのエッチング装置及び半導体ウェーハのエッチング方法 2016年12月28日
特開 2016-210649 シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法およびシリコンエピタキシャルウェーハ 2016年12月15日
特開 2016-213232 エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 2016年12月15日
特開 2016-203342 ツルーアーの製造方法および半導体ウェーハの製造方法、ならびに半導体ウェーハの面取り加工装置 2016年12月 8日
特開 2016-203349 ウェーハの両面研磨装置 2016年12月 8日
特開 2016-204179 種結晶の温度測定方法、および単結晶の製造方法 2016年12月 8日
特開 2016-204231 シリコン単結晶の製造方法 2016年12月 8日
特開 2016-207932 サセプタ及びエピタキシャル成長装置 2016年12月 8日
特開 2016-199420 単結晶引き上げ用種結晶保持具及びこれを用いたシリコン単結晶の製造方法 2016年12月 1日
特開 2016-200554 エピタキシャルウェーハの評価方法および評価装置 2016年12月 1日
特開 2016-201461 半導体ウェーハの製造方法および半導体ウェーハの評価方法 2016年12月 1日
特開 2016-201528 サセプタ、気相成長装置、気相成長方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ 2016年12月 1日
特開 2016-193818 シリコン単結晶ウェーハ 2016年11月17日

76 件中 1-15 件を表示

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2016-225444 2016-225445 2016-225447 2016-210649 2016-213232 2016-203342 2016-203349 2016-204179 2016-204231 2016-207932 2016-199420 2016-200554 2016-201461 2016-201528 2016-193818

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