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株式会社SUMCO

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  2011年 出願公開件数ランキング    第195位 221件 下降2010年:第150位 334件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第419位 79件 上昇2010年:第455位 62件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-108765 エピタキシャル成長装置およびエピタキシャル成長方法 2011年 6月 2日
特開 2011-108745 エピタキシャルウェーハ及びその製造方法 2011年 6月 2日
特開 2011-108791 シリコンウェーハおよびその製造方法 2011年 6月 2日
特開 2011-105526 シリコン単結晶の育成方法 2011年 6月 2日
特開 2011-107882 シリコンウェーハの工程計画立案システム、工程計画立案方法及びプログラム 2011年 6月 2日
特開 2011-109047 SIMOXウェーハの製造方法 2011年 6月 2日
特開 2011-103379 ウェーハの平坦化加工方法 2011年 5月26日
特開 2011-101930 仕上研磨前シリコンウェーハの表面平坦化方法およびシリコンウェーハの表面平坦化装置 2011年 5月26日
特開 2011-103354 半導体ウェーハの裏面粗さ評価方法及び評価装置 2011年 5月26日
特開 2011-103409 ウェーハ貼り合わせ方法 2011年 5月26日
特開 2011-100996 半導体基板内部の重金属の除去方法 2011年 5月19日
特開 2011-100978 半導体基板の洗浄方法および洗浄装置 2011年 5月19日
特開 2011-96979 シリコンウェーハ及びその製造方法 2011年 5月12日
特開 2011-91143 シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 2011年 5月 6日
特開 2011-91296 半導体ウェーハの研磨方法 2011年 5月 6日

221 件中 91-105 件を表示

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2011-108765 2011-108745 2011-108791 2011-105526 2011-107882 2011-109047 2011-103379 2011-101930 2011-103354 2011-103409 2011-100996 2011-100978 2011-96979 2011-91143 2011-91296

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