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信越半導体株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第313位 122件 上昇2013年:第330位 130件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第258位 155件 下降2013年:第255位 154件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5472073 半導体ウェーハ及びその製造方法 2014年 4月16日
特許 5472173 シリコンウェーハ中のCu濃度評価方法 2014年 4月16日
特許 5471874 熱衝撃耐性評価装置及び熱衝撃耐性の評価方法 2014年 4月16日
特許 5471359 エピタキシャルウェーハの製造方法 2014年 4月16日
特許 5467923 金属汚染評価用シリコンウエーハの製造方法 2014年 4月 9日 共同出願
特許 5464057 エピタキシャルウエーハの製造方法 2014年 4月 9日
特許 5463693 シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 2014年 4月 9日
特許 5463905 エピタキシャル層の抵抗率測定方法 2014年 4月 9日
特許 5463884 半導体単結晶基板の結晶欠陥評価方法 2014年 4月 9日
特許 5459053 シリコン単結晶の不純物評価方法 2014年 4月 2日
特許 5459257 シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 2014年 4月 2日
特許 5454513 研磨ヘッドの高さ方向の位置の調整方法及びワークの研磨方法 2014年 3月26日
特許 5454456 単結晶製造装置及び単結晶の製造方法 2014年 3月26日
特許 5454485 貼り合わせ基板の製造方法 2014年 3月26日
特許 5454298 半導体基板の製造方法 2014年 3月26日

155 件中 106-120 件を表示

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5472073 5472173 5471874 5471359 5467923 5464057 5463693 5463905 5463884 5459053 5459257 5454513 5454456 5454485 5454298

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