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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特表 2013-541210	マイクロリソグラフィのための投影露光ツール及びマイクロリソグラフィ結像の方法	2013年11月 7日
特表 2013-541193	ＥＵＶリソグラフィ用ミラーの基板	2013年11月 7日
特表 2013-540346	可動フィルタ要素を有する照明光学ユニット	2013年10月31日
特表 2013-540350	ＥＵＶ投影露光系のためのミラー、光学系、及び構成要素を生成する方法	2013年10月31日
特表 2013-540348	マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系及び像配置誤差を低減する方法	2013年10月31日
特開 2013-225154	光学素子ユニット及び光学素子の支持方法	2013年10月31日
特開 2013-225674	光モジュールへの力の影響を調整しうる光学装置	2013年10月31日
特表 2013-540349	投影露光システム及び投影露光方法	2013年10月31日
特開 2013-219383	第１および第２付加中間層を備えるＥＵＶリソグラフィ装置用多層反射光学素子	2013年10月24日
特開 2013-210647	マイクロリソグラフィ投影光学系、ある機器を製造するための方法、光学面を設計する方法	2013年10月10日
特表 2013-537710	マイクロリソグラフィ用の投影露光ツールの光学系を検定する方法及び装置	2013年10月 3日
特表 2013-536988	投影露光装置	2013年 9月26日
特表 2013-535826	結像光学系及びこの種の結像光学系を有するマイクロリソグラフィのための投影露光装置	2013年 9月12日
特表 2013-535845	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系	2013年 9月12日
特表 2013-535105	光学システム	2013年 9月 9日

93 件中 16-30 件を表示

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2013-541210 2013-541193 2013-540346 2013-540350 2013-540348 2013-225154 2013-225674 2013-540349 2013-219383 2013-210647 2013-537710 2013-536988 2013-535826 2013-535845 2013-535105

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