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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2013年 出願公開件数ランキング    第430位 93件 上昇2012年:第437位 89件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第457位 78件 上昇2012年:第478位 72件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5369319 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム 2013年12月18日
特許 5366405 遮光瞳を有する高開口率対物光学系 2013年12月11日
特許 5364192 対象物表面の所定の照明領域をEUV照射によって照らすための照明システム 2013年12月11日
特許 5364756 粒子光学装置 2013年12月11日 共同出願
特許 5366970 マイクロリソグラフィ投影露光装置 2013年12月11日
特許 5355699 放射線ビームを案内するための光学モジュール 2013年11月27日
特許 5345132 マイクロリソグラフィ露光装置においてマスクを照明するための照明系 2013年11月20日
特許 5349697 反射光学素子及びEUVリソグラフィ装置を作動させる方法 2013年11月20日
特許 5337304 マイクロリソグラフィ投影露光装置及びそこに収容される光学面に関連するパラメータを測定する方法 2013年11月 6日
特許 5337292 光源の変動を測定するためのシステムを備えたEUV照明システム 2013年11月 6日
特許 5337714 EUV投影露光装置 2013年11月 6日
特許 5335906 マイクロリソグラフィ用の照明光学ユニット 2013年11月 6日
特許 5337159 結像光学系及びこれを有する投影露光装置 2013年11月 6日
特許 5329520 低角度で入射する補正光を用いる補正光学素子 2013年10月30日
特許 5325301 マイクロミラーを駆動する方法及びデバイス 2013年10月23日

78 件中 1-15 件を表示

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5369319 5366405 5364192 5364756 5366970 5355699 5345132 5349697 5337304 5337292 5337714 5335906 5337159 5329520 5325301

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