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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2013年 出願公開件数ランキング    第430位 93件 上昇2012年:第437位 89件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第457位 78件 上昇2012年:第478位 72件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特表 2013-535105 光学システム 2013年 9月 9日
特表 2013-535104 リソグラフィマスクを使用して生成された放射分布の局所解像測定用装置および方法 2013年 9月 9日
特表 2013-533633 EUV露光装置 2013年 8月22日 共同出願
特表 2013-533632 ファセットミラーデバイス 2013年 8月22日
特表 2013-533615 マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系 2013年 8月22日
特表 2013-532381 EUVリソグラフィ用のマスク、EUVリソグラフィシステム、及びマスクの結像を最適化する方法 2013年 8月15日
特開 2013-157636 反射コーティングを備えたミラー要素を有する投影対物系 2013年 8月15日
特表 2013-530526 マイクロリソグラフィ投影装置のための光学系 2013年 7月25日
特表 2013-530534 マイクロリソグラフィ用の照明光学系及びこの種の照明光学系を有する投影露光系 2013年 7月25日
特表 2013-530517 EUVリソグラフィ用ミラーの基板およびその製造方法 2013年 7月25日
特開 2013-145892 光学要素ユニット 2013年 7月25日
特表 2013-527986 リソグラフィ系の光学要素の操作を含むリソグラフィ系を作動させる方法 2013年 7月 4日
特表 2013-527988 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 2013年 7月 4日
特表 2013-526071 EUVコレクター 2013年 6月20日
特表 2013-526022 結像光学系及びそのような結像光学系を有するマイクロリソグラフィのための投影露光装置 2013年 6月20日

93 件中 31-45 件を表示

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2013-535105 2013-535104 2013-533633 2013-533632 2013-533615 2013-532381 2013-157636 2013-530526 2013-530534 2013-530517 2013-145892 2013-527986 2013-527988 2013-526071 2013-526022

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