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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2014年 出願公開件数ランキング    第383位 96件 上昇2013年:第430位 93件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第284位 137件 上昇2013年:第457位 78件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-143445 マイクロリソグラフィ投影対物レンズ 2014年 8月 7日
特開 2014-140047 マイクロリソグラフィのための投影露光装置に使用するファセットミラー 2014年 7月31日
特開 2014-139677 偏光変調光学素子 2014年 7月31日
特開 2014-140060 マイクロリソグラフィ用の投影対物系 2014年 7月31日
特開 2014-140051 浸液蒸発作用の低い光学結像 2014年 7月31日
特表 2014-518011 測定装置を備えた光学モジュール 2014年 7月24日
特表 2014-517349 結像光学ユニット 2014年 7月17日
特表 2014-517525 マイクロリソグラフィ用の投影露光装置の光学素子を動かす方法 2014年 7月17日
特表 2014-517533 測定システム 2014年 7月17日
特表 2014-516473 マイクロリソグラフィ投影露光装置内の要素を作動させるための設備 2014年 7月10日 共同出願
特開 2014-131060 光学撮像装置および方法 2014年 7月10日
特開 2014-131031 マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系 2014年 7月10日
特表 2014-516209 照明光学ユニット 2014年 7月 7日
特開 2014-123131 遮光瞳を有する高開口率対物光学系 2014年 7月 3日
特開 2014-123747 反射光学素子とその製造方法 2014年 7月 3日

96 件中 46-60 件を表示

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2014-143445 2014-140047 2014-139677 2014-140060 2014-140051 2014-518011 2014-517349 2014-517525 2014-517533 2014-516473 2014-131060 2014-131031 2014-516209 2014-123131 2014-123747

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