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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特許 5645406	浸漬リソグラフィーのための疎水性被膜を有する光学的配置、ならびにそれを具える投影露光器機	2014年12月24日
特許 5643755	結像光学系	2014年12月17日
特許 5639941	偏光変調光学素子	2014年12月10日
特許 5640037	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム用の光結合器	2014年12月10日
特許 5639894	マイクロリソグラフィ投影露光装置用の照明系	2014年12月10日
特許 5639971	少なくとも１つのシステム絞りを備えた光学結像装置	2014年12月10日
特許 5639145	光学アセンブリ	2014年12月10日
特許 5635264	光学システム、特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム又は投影対物器械	2014年12月 3日
特許 5634403	２つ以上の動作状態を有するマイクロリソグラフィ投影露光装置	2014年12月 3日
特許 5634521	表面外形（ＳＵＲＦＡＣＥＦＩＧＵＲＥ）変形の少ない光学素子	2014年12月 3日
特許 5629731	結像誤差の判断を備えた光学結像装置	2014年11月26日	共同出願
特許 5629050	マイクロリソグラフィ投影露光装置のための投影対物レンズ	2014年11月19日
特許 5622664	絞りを有する投影対物系	2014年11月12日
特許 5619624	測定手段を有するマイクロリソグラフィのための投影露光装置	2014年11月 5日
特許 5620039	少なくとも１つのシステム絞りを備えた光学結像装置	2014年11月 5日

137 件中 1-15 件を表示

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5645406 5643755 5639941 5640037 5639894 5639971 5639145 5635264 5634403 5634521 5629731 5629050 5622664 5619624 5620039

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