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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2014年 出願公開件数ランキング    第383位 96件 上昇2013年:第430位 93件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第284位 137件 上昇2013年:第457位 78件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特表 2014-504448 EUVリソグラフィ系 2014年 2月20日
特表 2014-504005 投影リソグラフィのための照明光学系 2014年 2月13日
特開 2014-22739 リソグラフィ装置及び方法 2014年 2月 3日
特開 2014-13759 粒子光学システム及び装置、並びに、かかるシステム及び装置用の粒子光学部品 2014年 1月23日 共同出願
特開 2014-6553 結像光学系 2014年 1月16日
特開 2014-3290 EUV用途向けの少なくとも1つのファセットミラーのファセットの角度位置を測定する光学的方法及び光学測定デバイス 2014年 1月 9日

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2014-504448 2014-504005 2014-22739 2014-13759 2014-6553 2014-3290

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