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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特許 5264915	光学装置の位置測定装置の較正	2013年 8月14日
特許 5249179	マイクロリソグラフィ投影光学系、ある機器を製造するための方法、光学面を設計する方法	2013年 7月31日
特許 5253998	波面計測及び散乱光測定方法及び装置、ならびに関連装置及び製造方法	2013年 7月31日
特許 5243957	液浸リソグラフィー用オブジェクティブ	2013年 7月24日	共同出願
特許 5243544	光学薄膜素子	2013年 7月24日
特許 5236065	光源の変動を測定するためのシステムを備えたＥＵＶ照明システム	2013年 7月17日
特許 5236478	光源の変動を測定するためのシステムを備えたＥＵＶ照明システム	2013年 7月17日
特許 5237091	光学結像装置	2013年 7月17日
特許 5237708	マイクロリソグラフィック投影露光装置	2013年 7月17日
特許 5238879	フーリエ光学系を含む照明系	2013年 7月17日
特許 5232927	投影露光装置の照明光学ユニットの瞳ファセットミラーの瞳ファセットを照明光学ユニットの視野ファセットミラーの視野ファセットに割り当てる方法	2013年 7月10日
特許 5227557	半導体リソグラフィー用のミラーアレンジメントを製造する方法	2013年 7月 3日
特許 5225075	マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系	2013年 7月 3日
特許 5225382	電気伝導性領域を有する光学素子およびこのような光学素子を有する照明系	2013年 7月 3日
特許 5227997	光線束を案内するためのミラー	2013年 7月 3日

78 件中 31-45 件を表示

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5264915 5249179 5253998 5243957 5243544 5236065 5236478 5237091 5237708 5238879 5232927 5227557 5225075 5225382 5227997

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