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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6253163	投影リソグラフィのための照明光学ユニット	2017年12月27日
特許 6255340	構成部品の接続方法及び複合構造	2017年12月27日
特許 6249236	フォトリソグラフィマスクの画像を相関させるための装置及び方法	2017年12月20日
特許 6249449	マイクロリソグラフィのための投影対物系	2017年12月20日
特許 6246907	光学素子及び当該光学素子に対する放射の影響を低減する手段を備えた光学コンポーネント	2017年12月13日
特許 6242917	ビーム反転モジュールおよびそのようなビーム反転モジュールを有する光パワー増幅器	2017年12月 6日
特許 6242925	浸液蒸発作用の低い光学結像	2017年12月 6日
特許 6238140	投影露光装置のための照明光学ユニット	2017年11月29日
特許 6238177	高度に柔軟なマニピュレータを有する投影露光装置	2017年11月29日
特許 6239531	渦電流ブレーキ付きリソグラフィ装置	2017年11月29日
特許 6240142	寄生負荷最小化光学素子モジュール	2017年11月29日
特許 6240247	光学結像装置	2017年11月29日
特許 6235999	ＥＵＶリソグラフィ用の反射光学素子を製造する方法	2017年11月22日
特許 6236095	マイクロリソグラフィ装置	2017年11月22日
特許 6231587	構成体及び構成体を備えたリソグラフィ装置	2017年11月15日

69 件中 1-15 件を表示

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6253163 6255340 6249236 6249449 6246907 6242917 6242925 6238140 6238177 6239531 6240142 6240247 6235999 6236095 6231587

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