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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6444999	分離コーティングを有するミラーの表面補正	2018年12月26日
特許 6445501	マイクロリソグラフィのための投影露光ツールを作動させる方法	2018年12月26日
特許 6442492	ミラー、特にマイクロリソグラフィー投影露光装置用ミラー	2018年12月19日
特許 6434473	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系	2018年12月 5日
特許 6429171	ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学ユニット	2018年11月28日
特許 6429492	イオンの質量選択判定装置	2018年11月28日
特許 6429817	マイクロリソグラフィのための投影露光ツール及びマイクロリソグラフィ結像の方法	2018年11月28日
特許 6422450	投影露光装置上で光学的対称性を測定する装置及び方法	2018年11月14日
特許 6422496	飛翔体の軌跡を求める際に使用する測定装置	2018年11月14日
特許 6423419	投影露光装置のためのファセットミラー	2018年11月14日
特許 6420757	マイクロリソグラフィ装置及びそのような装置において光学波面を変更する方法	2018年11月 7日
特許 6420802	リソグラフィ装置	2018年11月 7日
特許 6415434	ＥＵＶ投影露光装置用ミラー機構、その操作方法、及びＥＵＶ投影露光装置	2018年10月31日
特許 6415564	光学コンポーネント	2018年10月31日
特許 6410230	結像反射ＥＵＶ投影光学ユニット	2018年10月24日

78 件中 1-15 件を表示

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6444999 6445501 6442492 6434473 6429171 6429492 6429817 6422450 6422496 6423419 6420757 6420802 6415434 6415564 6410230

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