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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5830089	ＥＵＶリソグラフィ用のマスク、ＥＵＶリソグラフィシステム、及びマスクの結像を最適化する方法	2015年12月 9日
特許 5830129	マイクロリソグラフィ投影対物レンズ	2015年12月 9日
特許 5830508	マイクロリソグラフィ投影光学システム、装置、及び製造方法	2015年12月 9日
特許 5827306	アクチュエータシステムを備える投影露光装置	2015年12月 2日
特許 5827997	投影露光装置	2015年12月 2日
特許 5816152	光学結像装置	2015年11月18日
特許 5810467	結像光学系及び該結像光学系を有するマイクロリソグラフィ用の投影露光装置	2015年11月11日
特許 5807680	ＥＵＶマイクロリソグラフィのための投影露光装置及びマイクロリソグラフィ露光の方法	2015年11月10日
特許 5800340	ＥＵＶコレクター	2015年10月28日
特許 5796258	結像光学系	2015年10月21日
特許 5798174	マイクロリソグラフィー投影露光装置	2015年10月21日
特許 5798719	目標形状からの光学試験面のずれを測定する方法および装置	2015年10月21日
特許 5793470	取扱い可能な絞り又は開口絞りを備えたマイクロリソグラフィー投影光学系	2015年10月14日
特許 5787382	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系	2015年 9月30日
特許 5779545	光学素子操作装置	2015年 9月16日

65 件中 1-15 件を表示

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5830089 5830129 5830508 5827306 5827997 5816152 5810467 5807680 5800340 5796258 5798174 5798719 5793470 5787382 5779545

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