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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第425位 82件 (2014年:第383位 96件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第402位 64件 (2014年:第284位 137件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5830089 | EUVリソグラフィ用のマスク、EUVリソグラフィシステム、及びマスクの結像を最適化する方法 | 2015年12月 9日 | |
特許 5830129 | マイクロリソグラフィ投影対物レンズ | 2015年12月 9日 | |
特許 5830508 | マイクロリソグラフィ投影光学システム、装置、及び製造方法 | 2015年12月 9日 | |
特許 5827306 | アクチュエータシステムを備える投影露光装置 | 2015年12月 2日 | |
特許 5827997 | 投影露光装置 | 2015年12月 2日 | |
特許 5816152 | 光学結像装置 | 2015年11月18日 | |
特許 5810467 | 結像光学系及び該結像光学系を有するマイクロリソグラフィ用の投影露光装置 | 2015年11月11日 | |
特許 5807680 | EUVマイクロリソグラフィのための投影露光装置及びマイクロリソグラフィ露光の方法 | 2015年11月10日 | |
特許 5800340 | EUVコレクター | 2015年10月28日 | |
特許 5796258 | 結像光学系 | 2015年10月21日 | |
特許 5798174 | マイクロリソグラフィー投影露光装置 | 2015年10月21日 | |
特許 5798719 | 目標形状からの光学試験面のずれを測定する方法および装置 | 2015年10月21日 | |
特許 5793470 | 取扱い可能な絞り又は開口絞りを備えたマイクロリソグラフィー投影光学系 | 2015年10月14日 | |
特許 5787382 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 | 2015年 9月30日 | |
特許 5779545 | 光学素子操作装置 | 2015年 9月16日 |
65 件中 1-15 件を表示
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5830089 5830129 5830508 5827306 5827997 5816152 5810467 5807680 5800340 5796258 5798174 5798719 5793470 5787382 5779545
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11月22日(金) -
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11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
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11月25日(月) - 岐阜 各務原市
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11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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