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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第425位 82件
(
2014年:第383位 96件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第402位 64件
(
2014年:第284位 137件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5830089 | EUVリソグラフィ用のマスク、EUVリソグラフィシステム、及びマスクの結像を最適化する方法 | 2015年12月 9日 | |
| 特許 5830129 | マイクロリソグラフィ投影対物レンズ | 2015年12月 9日 | |
| 特許 5830508 | マイクロリソグラフィ投影光学システム、装置、及び製造方法 | 2015年12月 9日 | |
| 特許 5827306 | アクチュエータシステムを備える投影露光装置 | 2015年12月 2日 | |
| 特許 5827997 | 投影露光装置 | 2015年12月 2日 | |
| 特許 5816152 | 光学結像装置 | 2015年11月18日 | |
| 特許 5810467 | 結像光学系及び該結像光学系を有するマイクロリソグラフィ用の投影露光装置 | 2015年11月11日 | |
| 特許 5807680 | EUVマイクロリソグラフィのための投影露光装置及びマイクロリソグラフィ露光の方法 | 2015年11月10日 | |
| 特許 5800340 | EUVコレクター | 2015年10月28日 | |
| 特許 5796258 | 結像光学系 | 2015年10月21日 | |
| 特許 5798174 | マイクロリソグラフィー投影露光装置 | 2015年10月21日 | |
| 特許 5798719 | 目標形状からの光学試験面のずれを測定する方法および装置 | 2015年10月21日 | |
| 特許 5793470 | 取扱い可能な絞り又は開口絞りを備えたマイクロリソグラフィー投影光学系 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5787382 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 | 2015年 9月30日 | |
| 特許 5779545 | 光学素子操作装置 | 2015年 9月16日 |
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5830089 5830129 5830508 5827306 5827997 5816152 5810467 5807680 5800340 5796258 5798174 5798719 5793470 5787382 5779545
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12月19日(金) - 東京 千代田区
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【大阪会場】 前田知財塾 ~スキルアップ編~ 知財の仕事を、もっと深く、もっと面白く! 第2回 「特許権侵害判断・回避構造の検討」
12月19日(金) - 神奈川 川崎市
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