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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6985935	波面マニピュレータを有する投影レンズ、投影露光方法、及び投影露光装置	2021年12月22日
特許 6980660	リソグラフィ装置用の光学デバイス及びリソグラフィ装置	2021年12月15日
特許 6963642	投影リソグラフィのための照明光学ユニット	2021年11月10日
特許 6959952	マイクロリソグラフィのための投影露光方法及び投影露光装置	2021年11月 5日
特許 6947493	マスクの表面を検査するための装置および方法	2021年10月13日
特許 6923701	有質量粒子ビームの波面を決定するための方法および装置	2021年 8月25日
特許 6905536	電子照射を用いて光学要素の面形状を変化させるためのデバイス	2021年 7月21日
特許 6898990	走査プローブ顕微鏡及び走査プローブ顕微鏡の走査速度をステップイン走査モードで増大させる方法	2021年 7月 7日
特許 6889103	投影リソグラフィのための照明光学ユニットのためのファセットミラー	2021年 6月18日
特許 6886476	物体視野を像視野内に結像するための結像光学ユニット及びそのような結像光学ユニットを含む投影露光装置	2021年 6月16日
特許 6875846	特にマイクロリソグラフィ投影露光装置用のミラー素子	2021年 5月26日
特許 6876771	圧電装置を備える光学結像装置	2021年 5月26日
特許 6864685	特にマイクロリソグラフィ投影露光装置用の光学系	2021年 4月28日
特許 6861149	投影リソグラフィのための照明光学アセンブリ	2021年 4月28日
特許 6853843	リソグラフィマスクのフォーカス位置を決定する方法及びそのような方法を実行するための計測系	2021年 3月31日

24 件中 1-15 件を表示

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6985935 6980660 6963642 6959952 6947493 6923701 6905536 6898990 6889103 6886476 6875846 6876771 6864685 6861149 6853843

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