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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7194023 マイクロリソグラフィ照明ユニット 2022年12月21日
特許 7169377 フォトリソグラフィ用の要素を検査および/または処理するための装置および方法 2022年11月10日
特許 7168627 物体マッピング及び/又は瞳マッピングのための光学系 2022年11月 9日
特許 7159352 コンポーネントの位置を周波数に基づいて決定する測定アセンブリ 2022年10月24日
特許 7141411 フォトニック集積回路をテストするための装置、装置を含む検査システム、及びフォトニック集積回路をテストするための方法 2022年 9月22日
特許 7140854 荷電粒子のビームを検査するための方法および装置 2022年 9月21日
特許 7140905 光学素子の表面形状を評価する方法及び装置 2022年 9月21日
特許 7137480 EUVコレクタ 2022年 9月14日
特許 7136934 レーザの出力ビームのスペクトル帯域幅を減少させるための光学アセンブリ 2022年 9月13日
特許 7132711 EUV範囲のためのフォトリソグラフィマスクの要素を検査する方法及び装置 2022年 9月 7日
特許 7125414 メトロロジターゲット 2022年 8月24日
特許 7105247 材料除去を決定する方法及びワークのビーム加工装置 2022年 7月22日
特許 7100198 フォトリソグラフィプロセスの要素の欠陥の未知の影響を評価するための方法および装置 2022年 7月12日
特許 7098622 特にマイクロリソグラフィ投影露光装置のための光学素子 2022年 7月11日
特許 7090375 マイクロリソグラフィのための投影露光方法及び投影露光装置 2022年 6月24日

36 件中 1-15 件を表示

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7194023 7169377 7168627 7159352 7141411 7140854 7140905 7137480 7136934 7132711 7125414 7105247 7100198 7098622 7090375

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