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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7194023	マイクロリソグラフィ照明ユニット	2022年12月21日
特許 7169377	フォトリソグラフィ用の要素を検査および／または処理するための装置および方法	2022年11月10日
特許 7168627	物体マッピング及び／又は瞳マッピングのための光学系	2022年11月 9日
特許 7159352	コンポーネントの位置を周波数に基づいて決定する測定アセンブリ	2022年10月24日
特許 7141411	フォトニック集積回路をテストするための装置、装置を含む検査システム、及びフォトニック集積回路をテストするための方法	2022年 9月22日
特許 7140905	光学素子の表面形状を評価する方法及び装置	2022年 9月21日
特許 7140854	荷電粒子のビームを検査するための方法および装置	2022年 9月21日
特許 7137480	ＥＵＶコレクタ	2022年 9月14日
特許 7136934	レーザの出力ビームのスペクトル帯域幅を減少させるための光学アセンブリ	2022年 9月13日
特許 7132711	ＥＵＶ範囲のためのフォトリソグラフィマスクの要素を検査する方法及び装置	2022年 9月 7日
特許 7125414	メトロロジターゲット	2022年 8月24日
特許 7105247	材料除去を決定する方法及びワークのビーム加工装置	2022年 7月22日
特許 7100198	フォトリソグラフィプロセスの要素の欠陥の未知の影響を評価するための方法および装置	2022年 7月12日
特許 7098622	特にマイクロリソグラフィ投影露光装置のための光学素子	2022年 7月11日
特許 7090375	マイクロリソグラフィのための投影露光方法及び投影露光装置	2022年 6月24日

36 件中 1-15 件を表示

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7194023 7169377 7168627 7159352 7141411 7140905 7140854 7137480 7136934 7132711 7125414 7105247 7100198 7098622 7090375

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