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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6805248	保護素子を有する光学アセンブリおよびそのような光学アセンブリを有する光学装置	2020年12月23日
特許 6799544	物体視野を像視野内に結像するための結像光学ユニット及びそのような結像光学ユニットを含む投影露光装置	2020年12月16日
特許 6797271	ミラー機構及びミラー機構から熱流を放散する方法	2020年12月 9日
特許 6792600	ＥＵＶコレクター	2020年11月25日
特許 6786488	ピエゾ位置決め装置及び当該ピエゾ位置決め装置による位置決め方法	2020年11月18日
特許 6783379	光学系、リソグラフィ装置および方法	2020年11月11日
特許 6783801	結像光学系の測定方法及び測定配列	2020年11月11日
特許 6781772	光学結像装置の取付装置	2020年11月 4日
特許 6767970	投影露光装置のための照明光学アセンブリ	2020年10月14日
特許 6770168	光学面の形状を干渉法により求める測定装置	2020年10月14日
特許 6754699	光学素子上のアクチュエータ及びセンサ点の最適配置	2020年 9月16日
特許 6754447	測定台上のマスクホルダの位置を検出する方法	2020年 9月 9日
特許 6751079	補正光学変数を求める方法及び装置	2020年 9月 2日
特許 6751411	リソグラフィシステムにおける多数のミラーのそれぞれの位置を決定するセンサ構成体及び方法	2020年 9月 2日
特許 6745723	少なくとも１つの光学コンポーネントを変位させる方法	2020年 8月26日

56 件中 1-15 件を表示

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6805248 6799544 6797271 6792600 6786488 6783379 6783801 6781772 6767970 6770168 6754699 6754447 6751079 6751411 6745723

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