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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特許 5105743	浸漬リソグラフィー用屈折性投影対物レンズ	2012年12月26日
特許 5106692	投影リソグラフィのための照明光学ユニット	2012年12月26日
特許 5106858	高開口数と平面状端面とを有する投影対物レンズ	2012年12月26日
特許 5106099	投影対物レンズ、マイクロリソグラフィのための投影露光装置及び反射レチクル	2012年12月26日
特許 5107456	偏光アクチュエータ	2012年12月26日
特許 5107486	少なくとも１つのシステム絞りを有する光学結像装置	2012年12月26日
特許 5102539	対象物表面の所定の照明領域をＥＵＶ照射によって照らすための照明システム	2012年12月19日
特許 5099793	光学面から汚染層を除去するための方法、洗浄ガスを生成するための方法、ならびに対応する洗浄および洗浄ガス生成の構造	2012年12月19日	共同出願
特許 5102492	結晶素子を有するマイクロリソグラフィー投影用対物レンズ	2012年12月19日
特許 5096530	ゼロ転移温度周辺の熱膨張係数に応じて温度の上昇に対する傾きの符号が異なる材料で構成されたミラーを備えたＥＵＶ投影レンズ	2012年12月12日
特許 5094836	マイクロリソグラフィのための投影露光方法及び投影露光装置	2012年12月12日
特許 5097119	マイクロリソグラフィ投影露光装置	2012年12月12日
特許 5091128	マイクロリソグラフィ用の投影レンズおよびそのための端部素子	2012年12月 5日
特許 5084739	投影照射システム	2012年11月28日
特許 5077724	マイクロリソグラフィツール用の反射照明システム	2012年11月21日

72 件中 1-15 件を表示

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5105743 5106692 5106858 5106099 5107456 5107486 5102539 5099793 5102492 5096530 5094836 5097119 5091128 5084739 5077724

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