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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2016年 出願公開件数ランキング    第366位 102件 上昇2015年:第425位 82件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第337位 92件 上昇2015年:第402位 64件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6052750 EUV光源 2016年12月27日
特許 6053081 光学系の少なくとも1つの光学素子を作動させる機構 2016年12月27日
特許 6053748 ミラーアレイ 2016年12月27日
特許 6055252 光学素子 2016年12月27日
特許 6049043 マイクロリソグラフィ投影露光系のチャネルの欠陥を補償するための装置及び方法 2016年12月21日
特許 6050288 マイクロリソグラフィ投影対物レンズ 2016年12月21日
特許 6045003 EUVマイクロリソグラフィ用の照明系 2016年12月14日
特許 6045579 ブランクの吸収を求める装置及び方法 2016年12月14日
特許 6038971 調整機能を最適化した投影露光装置 2016年12月 7日
特許 6041304 EUVマイクロリソグラフィ用の照明光学系、この種の照明光学系用のEUV減衰器、及びこの種の照明光学系を有する照明系及び投影露光装置 2016年12月 7日
特許 6033849 測定装置を備えた光学モジュール 2016年11月30日
特許 6034845 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 2016年11月30日
特許 6025835 投影機構 2016年11月16日
特許 6023083 EUVリソグラフィ用のミラーの基板 2016年11月 9日
特許 6016169 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 2016年10月26日

95 件中 1-15 件を表示

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6052750 6053081 6053748 6055252 6049043 6050288 6045003 6045579 6038971 6041304 6033849 6034845 6025835 6023083 6016169

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