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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第366位 102件
（
2015年：第425位 82件）
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第337位 92件
（2015年：第402位 64件）
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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6052750 | ＥＵＶ光源 | 2016年12月27日 | |
| 特許 6053081 | 光学系の少なくとも１つの光学素子を作動させる機構 | 2016年12月27日 | |
| 特許 6053748 | ミラーアレイ | 2016年12月27日 | |
| 特許 6055252 | 光学素子 | 2016年12月27日 | |
| 特許 6049043 | マイクロリソグラフィ投影露光系のチャネルの欠陥を補償するための装置及び方法 | 2016年12月21日 | |
| 特許 6050288 | マイクロリソグラフィ投影対物レンズ | 2016年12月21日 | |
| 特許 6045003 | ＥＵＶマイクロリソグラフィ用の照明系 | 2016年12月14日 | |
| 特許 6045579 | ブランクの吸収を求める装置及び方法 | 2016年12月14日 | |
| 特許 6038971 | 調整機能を最適化した投影露光装置 | 2016年12月 7日 | |
| 特許 6041304 | ＥＵＶマイクロリソグラフィ用の照明光学系、この種の照明光学系用のＥＵＶ減衰器、及びこの種の照明光学系を有する照明系及び投影露光装置 | 2016年12月 7日 | |
| 特許 6033849 | 測定装置を備えた光学モジュール | 2016年11月30日 | |
| 特許 6034845 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 | 2016年11月30日 | |
| 特許 6025835 | 投影機構 | 2016年11月16日 | |
| 特許 6023083 | ＥＵＶリソグラフィ用のミラーの基板 | 2016年11月 9日 | |
| 特許 6016169 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 | 2016年10月26日 |
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6052750 6053081 6053748 6055252 6049043 6050288 6045003 6045579 6038971 6041304 6033849 6034845 6025835 6023083 6016169
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