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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第628位 47件 (2022年:第561位 54件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7397096 | 結像デバイス向けの自動焦点方法 | 2023年12月12日 | |
特許 7390104 | マイクロリソグラフィマスク、そのようなマスクの構造の像のエッジ位置を決定する方法、及びそのような方法を実施するためのシステム | 2023年12月 1日 | |
特許 7386222 | 反射光学素子の基板 | 2023年11月24日 | |
特許 7385679 | リソグラフィマスクの空間像を3次元的に決定するための方法 | 2023年11月22日 | |
特許 7382904 | マイクロリソグラフィ用マスクを測定するためのデバイス、および自動合焦方法 | 2023年11月17日 | |
特許 7348294 | 表面及び光学アセンブリをin situで動的に保護する方法 | 2023年 9月20日 | |
特許 7344203 | マイクロリソグラフィのためのマスクの認定のための方法 | 2023年 9月13日 | |
特許 7343486 | 光学素子の製造時に加工物を加工する方法 | 2023年 9月12日 | |
特許 7343508 | イメージセンサ、位置センサ装置、リソグラフィシステム、及びイメージセンサの動作方法 | 2023年 9月12日 | |
特許 7340520 | 投影リソグラフィシステム用の瞳ファセットミラー、光学システム、および照明光学系 | 2023年 9月 7日 | |
特許 7333877 | 駆動デバイス、光学系、及びリソグラフィ装置 | 2023年 8月25日 | |
特許 7333434 | 走査型プローブ顕微鏡のための装置および方法 | 2023年 8月24日 | |
特許 7329036 | フォトリソグラフィプロセスの要素の検査において統計的に分布した測定値を評価するための方法およびデバイス | 2023年 8月17日 | |
特許 7329141 | 集積半導体サンプルにおける3D構造間の接触領域のサイズ決定 | 2023年 8月17日 | |
特許 7324325 | 反射光学素子を製造する方法、反射光学素子および反射光学素子の使用 | 2023年 8月 9日 |
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7397096 7390104 7386222 7385679 7382904 7348294 7344203 7343486 7343508 7340520 7333877 7333434 7329036 7329141 7324325
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