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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2023年 出願公開件数ランキング    第628位 47件 下降2022年:第561位 54件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第631位 40件 上昇2022年:第709位 35件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7397096 結像デバイス向けの自動焦点方法 2023年12月12日
特許 7390104 マイクロリソグラフィマスク、そのようなマスクの構造の像のエッジ位置を決定する方法、及びそのような方法を実施するためのシステム 2023年12月 1日
特許 7386222 反射光学素子の基板 2023年11月24日
特許 7385679 リソグラフィマスクの空間像を3次元的に決定するための方法 2023年11月22日
特許 7382904 マイクロリソグラフィ用マスクを測定するためのデバイス、および自動合焦方法 2023年11月17日
特許 7348294 表面及び光学アセンブリをin situで動的に保護する方法 2023年 9月20日
特許 7344203 マイクロリソグラフィのためのマスクの認定のための方法 2023年 9月13日
特許 7343486 光学素子の製造時に加工物を加工する方法 2023年 9月12日
特許 7343508 イメージセンサ、位置センサ装置、リソグラフィシステム、及びイメージセンサの動作方法 2023年 9月12日
特許 7340520 投影リソグラフィシステム用の瞳ファセットミラー、光学システム、および照明光学系 2023年 9月 7日
特許 7333877 駆動デバイス、光学系、及びリソグラフィ装置 2023年 8月25日
特許 7333434 走査型プローブ顕微鏡のための装置および方法 2023年 8月24日
特許 7329036 フォトリソグラフィプロセスの要素の検査において統計的に分布した測定値を評価するための方法およびデバイス 2023年 8月17日
特許 7329141 集積半導体サンプルにおける3D構造間の接触領域のサイズ決定 2023年 8月17日
特許 7324325 反射光学素子を製造する方法、反射光学素子および反射光学素子の使用 2023年 8月 9日

40 件中 1-15 件を表示

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7397096 7390104 7386222 7385679 7382904 7348294 7344203 7343486 7343508 7340520 7333877 7333434 7329036 7329141 7324325

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