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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2013年 特許取得件数ランキング    第457位 78件 上昇2012年:第478位 72件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5225075 マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系 2013年 7月 3日
特許 5222142 粒子光学部品 2013年 6月26日 共同出願
特許 5218994 複数の1次光源を有する光学要素 2013年 6月26日
特許 5216015 対物レンズ部品を交換する方法及び装置 2013年 6月19日
特許 5215467 低汚染光学装置 2013年 6月19日
特許 5214031 半導体リソグラフィのための投影露光装置における振動減衰方法 2013年 6月19日
特許 5208266 光学アパーチャ装置 2013年 6月12日
特許 5209880 光学的放射の偏光の状態に対する光学系の影響を近似する方法 2013年 6月12日
特許 5200182 マイクロリソグラフィ投影露光装置用の照明光学系 2013年 5月15日
特許 5199068 光学エレメント調整組立体 2013年 5月15日
特許 5193330 偏光変調光学素子 2013年 5月 8日
特許 5193227 半導体リソグラフィシステム及びその使用方法 2013年 5月 8日
特許 5194030 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系のマルチミラーアレイを監視するための方法および装置 2013年 5月 8日
特許 5183955 光学エレメントのための保持デバイス 2013年 4月17日
特許 5179077 投影露光装置の照明デバイスの光学システム 2013年 4月10日

78 件中 46-60 件を表示

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5225075 5222142 5218994 5216015 5215467 5214031 5208266 5209880 5200182 5199068 5193330 5193227 5194030 5183955 5179077

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