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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特許 5174810	マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物器械	2013年 4月 3日
特許 5172968	光学系	2013年 3月27日
特許 5165101	マイクロリソグラフィ投影露光用の装置および基板の表面を検査するための装置	2013年 3月21日
特許 5165700	瞳補正を有する反射屈折投影対物系	2013年 3月21日
特許 5156740	リソグラフィ投影対物器械を修正／修理する方法	2013年 3月 6日
特許 5156870	照明光学ユニットを設定する方法及び装置	2013年 3月 6日
特許 5154564	像収差を低減するための交換可能で操作可能な補正構成を有する光学システム	2013年 2月27日
特許 5153962	汚染を回避する方法及びＥＵＶリソグラフィ装置	2013年 2月27日
特許 5154562	光学面および光学配置上の汚染を除去する方法	2013年 2月27日	共同出願
特許 5129817	光学装置、特にＥＵＶリソグラフィ用投影露光装置並びに汚れの少ない反射光学素子	2013年 1月30日	共同出願
特許 5134732	ＥＵＶマイクロリソグラフィ用の照明光学系	2013年 1月30日
特許 5134716	強度変化の補償を伴う投影系及びそのための補償素子	2013年 1月30日
特許 5129399	投影露光装置へ電磁放射を案内する装置	2013年 1月30日
特許 5123436	光学素子のための支持要素	2013年 1月23日
特許 5127985	アクチュエータおよび投影露光システム	2013年 1月23日

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5174810 5172968 5165101 5165700 5156740 5156870 5154564 5153962 5154562 5129817 5134732 5134716 5129399 5123436 5127985

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