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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2012年 出願公開件数ランキング    第343位 120件 上昇2011年:第376位 103件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第464位 75件 上昇2011年:第886位 31件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-233733 検査方法および検査装置 2012年11月29日
再表 2010-143303 転写装置及び転写方法 2012年11月22日
特開 2012-231188 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年11月22日
特開 2012-231094 荷電粒子ビーム描画装置 2012年11月22日
特開 2012-216649 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 2012年11月 8日
特開 2012-211834 パターン検査装置及びパターン検査方法 2012年11月 1日
特開 2012-212882 半導体製造装置および半導体製造方法 2012年11月 1日
特開 2012-212793 半導体装置の製造方法、描画装置、プログラム及びパターン転写装置 2012年11月 1日
特開 2012-212829 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年11月 1日
特開 2012-212774 荷電粒子ビーム描画装置の基板ズレ評価方法および荷電粒子ビーム描画システム 2012年11月 1日
特開 2012-212792 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年11月 1日
特開 2012-212950 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年11月 1日
特開 2012-209399 荷電粒子ビーム描画装置及び描画データの抽出方法 2012年10月25日
特開 2012-204173 電子銃、電子ビーム描画装置および電子銃の脱ガス処理方法 2012年10月22日
特開 2012-198570 半導体装置の製造方法及び露光用マスクへのパターン形成方法 2012年10月18日

120 件中 16-30 件を表示

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2012-233733 2010-143303 2012-231188 2012-231094 2012-216649 2012-211834 2012-212882 2012-212793 2012-212829 2012-212774 2012-212792 2012-212950 2012-209399 2012-204173 2012-198570

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