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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2013年 出願公開件数ランキング    第410位 100件 下降2012年:第343位 120件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第439位 82件 上昇2012年:第464位 75件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-197289 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2013年 9月30日
特開 2013-197468 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2013年 9月30日
特開 2013-197469 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2013年 9月30日
特開 2013-197466 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 2013年 9月30日
特開 2013-195958 検査装置および検査方法 2013年 9月30日
特開 2013-191841 電子ビーム描画装置および電子ビーム描画方法 2013年 9月26日
特開 2013-174902 半導体装置の製造方法及び露光用マスクへのパターン形成方法 2013年 9月 5日
特開 2013-171946 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2013年 9月 2日
特開 2013-168589 電子ビーム描画装置および電子ビーム描画方法 2013年 8月29日
特開 2013-167608 検査装置および検査方法 2013年 8月29日
特開 2013-165283 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2013年 8月22日
特開 2013-161858 荷電粒子ビーム描画装置 2013年 8月19日
特開 2013-162008 温度調節システムおよび荷電粒子ビーム描画装置 2013年 8月19日
特開 2013-157623 描画方法及び描画装置 2013年 8月15日
特開 2013-157637 荷電粒子描画システム及び荷電粒子描画装置のパラメータ監視方法 2013年 8月15日

100 件中 16-30 件を表示

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2013-197289 2013-197468 2013-197469 2013-197466 2013-195958 2013-191841 2013-174902 2013-171946 2013-168589 2013-167608 2013-165283 2013-161858 2013-162008 2013-157623 2013-157637

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