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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2013年 出願公開件数ランキング    第410位 100件 下降2012年:第343位 120件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第439位 82件 上昇2012年:第464位 75件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5372816 成膜装置および成膜方法 2013年12月18日
特許 5362297 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 2013年12月11日
特許 5357530 描画用データの処理方法、描画方法、及び描画装置 2013年12月 4日
特許 5358201 成膜方法 2013年12月 4日
特許 5350523 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2013年11月27日
特許 5350121 パターン検査装置及びパターン検査方法 2013年11月27日
特許 5349232 成膜装置および成膜方法 2013年11月20日
特許 5344947 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2013年11月20日
特許 5349880 描画方法 2013年11月20日
特許 5341706 半導体製造装置および半導体製造方法 2013年11月13日
特許 5340680 成膜装置および成膜方法 2013年11月13日
特許 5342537 マスク検査装置 2013年11月13日 共同出願
特許 5330571 描画方法及び描画装置 2013年10月30日
特許 5314937 描画装置及び描画用データの処理方法 2013年10月16日
特許 5315100 描画装置 2013年10月16日

82 件中 1-15 件を表示

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5372816 5362297 5357530 5358201 5350523 5350121 5349232 5344947 5349880 5341706 5340680 5342537 5330571 5314937 5315100

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