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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第473位 74件 (2013年:第410位 100件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第336位 115件 (2013年:第439位 82件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2014-202482 | 検査方法および検査装置 | 2014年10月27日 | |
特開 2014-194521 | 試料支持装置 | 2014年10月 9日 | |
特開 2014-192511 | 荷電粒子ビーム描画装置 | 2014年10月 6日 | |
特開 2014-187282 | 成膜装置および成膜方法 | 2014年10月 2日 | 共同出願 |
特開 2014-183267 | セトリング時間の取得方法 | 2014年 9月29日 | |
特開 2014-181966 | 検査方法および検査装置 | 2014年 9月29日 | |
特開 2014-179383 | マルチビームの電流調整方法 | 2014年 9月25日 | |
特開 2014-175173 | 電子銃装置、描画装置、電子銃電源回路のリーク電流測定方法、及び電子銃電源回路のリーク電流判定方法 | 2014年 9月22日 | |
特開 2014-175573 | 荷電粒子ビーム描画装置、アパーチャユニット及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2014年 9月22日 | |
特開 2014-167970 | 荷電ビーム描画装置用温度測定用マスク、荷電ビーム描画装置の温度測定方法、および荷電ビーム描画装置の温度調整方法 | 2014年 9月11日 | |
特開 2014-163775 | パターン検査方法及びパターン検査装置 | 2014年 9月 8日 | |
特開 2014-165075 | カソードの動作温度調整方法、及び描画装置 | 2014年 9月 8日 | |
特開 2014-165202 | 電子線描画装置の故障診断方法、電子線描画装置 | 2014年 9月 8日 | |
特開 2014-157952 | 荷電粒子ビーム描画装置、及びバッファメモリのデータ格納方法 | 2014年 8月28日 | |
特開 2014-157953 | 荷電粒子ビーム描画装置、および荷電粒子ビーム描画方法 | 2014年 8月28日 |
74 件中 16-30 件を表示
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2014-202482 2014-194521 2014-192511 2014-187282 2014-183267 2014-181966 2014-179383 2014-175173 2014-175573 2014-167970 2014-163775 2014-165075 2014-165202 2014-157952 2014-157953
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