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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2014年 出願公開件数ランキング    第473位 74件 下降2013年:第410位 100件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第336位 115件 上昇2013年:第439位 82件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-157953 荷電粒子ビーム描画装置、および荷電粒子ビーム描画方法 2014年 8月28日
特開 2014-146767 気相成長装置および気相成長方法 2014年 8月14日
特開 2014-138050 荷電粒子ビーム描画方法 2014年 7月28日
特開 2014-138175 荷電粒子ビーム描画装置、試料面へのビーム入射角調整方法、および荷電粒子ビーム描画方法 2014年 7月28日
特開 2014-138183 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 2014年 7月28日
特開 2014-137289 検査方法 2014年 7月28日
特開 2014-137358 検査装置 2014年 7月28日
特開 2014-127540 電子線描画方法、電子線描画装置 2014年 7月 7日
特開 2014-127568 荷電粒子ビーム描画装置 2014年 7月 7日
特開 2014-127569 マルチ荷電粒子ビーム描画装置 2014年 7月 7日
特開 2014-123613 ドリフト補正方法および描画データの作成方法 2014年 7月 3日
特開 2014-120495 荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画プログラムおよび荷電粒子ビーム描画装置 2014年 6月30日
特開 2014-120630 荷電粒子ビーム描画装置、面積密度データの作成方法及びショット数データの作成方法 2014年 6月30日
特開 2014-116356 半導体製造方法及び半導体製造装置 2014年 6月26日
特開 2014-112639 マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 2014年 6月19日

74 件中 31-45 件を表示

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2014-157953 2014-146767 2014-138050 2014-138175 2014-138183 2014-137289 2014-137358 2014-127540 2014-127568 2014-127569 2014-123613 2014-120495 2014-120630 2014-116356 2014-112639

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