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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2012年 出願公開件数ランキング    第343位 120件 上昇2011年:第376位 103件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第464位 75件 上昇2011年:第886位 31件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-160574 荷電粒子ビーム描画装置 2012年 8月23日
特開 2012-155860 荷電粒子銃および荷電粒子ビーム描画装置 2012年 8月16日
特開 2012-151371 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 2012年 8月 9日
特開 2012-151345 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年 8月 9日
特開 2012-150036 照明装置、パターン検査装置及び照明光の形成方法 2012年 8月 9日
特開 2012-151314 電子ビーム描画装置および電子ビーム描画装置の評価方法 2012年 8月 9日
特開 2012-147010 荷電粒子ビーム描画装置 2012年 8月 2日
特開 2012-141249 回転制御装置及び回転制御方法 2012年 7月26日
特開 2012-142328 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画処理の再現方法 2012年 7月26日
特開 2012-134213 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年 7月12日
特開 2012-134205 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年 7月12日
特開 2012-129479 荷電粒子ビーム描画装置および描画データ生成方法 2012年 7月 5日
特開 2012-127856 パターン検査装置およびパターン検査方法 2012年 7月 5日
特開 2012-124411 半導体製造装置および半導体製造方法 2012年 6月28日
特開 2012-122773 検査装置および検査方法 2012年 6月28日

120 件中 46-60 件を表示

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2012-160574 2012-155860 2012-151371 2012-151345 2012-150036 2012-151314 2012-147010 2012-141249 2012-142328 2012-134213 2012-134205 2012-129479 2012-127856 2012-124411 2012-122773

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