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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2013年 出願公開件数ランキング    第410位 100件 下降2012年:第343位 120件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第439位 82件 上昇2012年:第464位 75件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-115373 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 2013年 6月10日
特開 2013-115304 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2013年 6月10日
特開 2013-110237 荷電粒子ビーム描画装置、パターン検査装置及びレイアウト表示方法 2013年 6月 6日
特開 2013-98271 成膜方法および成膜装置 2013年 5月20日
特開 2013-98340 成膜装置および成膜方法 2013年 5月20日
特開 2013-93566 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2013年 5月16日
特開 2013-89838 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2013年 5月13日
特開 2013-89839 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2013年 5月13日
特開 2013-84943 成膜装置および成膜方法 2013年 5月 9日
特開 2013-80951 荷電ビーム描画装置及び荷電ビーム描画装置の設計方法 2013年 5月 2日
特開 2013-77778 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 2013年 4月25日
特開 2013-77847 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 2013年 4月25日
特開 2013-76857 フォトマスク製造方法および荷電粒子ビーム描画方法 2013年 4月25日
特開 2013-77683 レチクルの支持機構および検査装置 2013年 4月25日
特開 2013-77703 荷電粒子ビーム描画方法 2013年 4月25日

100 件中 46-60 件を表示

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2013-115373 2013-115304 2013-110237 2013-98271 2013-98340 2013-93566 2013-89838 2013-89839 2013-84943 2013-80951 2013-77778 2013-77847 2013-76857 2013-77683 2013-77703

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