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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第376位 103件
(2010年:第347位 127件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第886位 31件
(2010年:第2005位 9件)
(ランキング更新日:2025年5月30日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2011-85536 | レビュー装置および検査装置システム | 2011年 4月28日 | |
特開 2011-74466 | 成膜装置および成膜方法 | 2011年 4月14日 | |
特開 2011-77313 | 荷電粒子ビーム描画装置およびその描画データ作成方法 | 2011年 4月14日 | |
特開 2011-77180 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビームのアライメント方法 | 2011年 4月14日 | |
特開 2011-63860 | 成膜装置および成膜方法 | 2011年 3月31日 | |
特開 2011-63859 | 成膜装置および成膜方法 | 2011年 3月31日 | |
特開 2011-66225 | 半導体製造方法 | 2011年 3月31日 | |
特開 2011-66264 | 荷電粒子ビーム描画装置およびその近接効果補正方法 | 2011年 3月31日 | |
特開 2011-66035 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2011年 3月31日 | |
特開 2011-66249 | 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 | 2011年 3月31日 | |
特開 2011-66247 | 荷電粒子ビーム描画装置 | 2011年 3月31日 | |
特開 2011-66215 | 荷電粒子ビーム描画装置および方法 | 2011年 3月31日 | |
特開 2011-66054 | 荷電粒子ビーム描画装置 | 2011年 3月31日 | |
特開 2011-66248 | 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 | 2011年 3月31日 | |
特開 2011-66036 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2011年 3月31日 |
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2011-85536 2011-74466 2011-77313 2011-77180 2011-63860 2011-63859 2011-66225 2011-66264 2011-66035 2011-66249 2011-66247 2011-66215 2011-66054 2011-66248 2011-66036
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