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株式会社ニューフレアテクノロジー

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株式会社ニューフレアテクノロジーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特開 2012-77924	除害装置および半導体製造装置	2012年 4月19日
特開 2012-72938	除害装置および半導体製造装置	2012年 4月12日
特開 2012-69676	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2012年 4月 5日
特開 2012-69623	半導体製造装置および半導体製造方法	2012年 4月 5日
特開 2012-68321	マスク欠陥検査装置およびマスク欠陥検査方法	2012年 4月 5日
特開 2012-69752	ＥＵＶマスクの製造方法	2012年 4月 5日
特開 2012-69661	荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法	2012年 4月 5日
特開 2012-69675	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2012年 4月 5日
特開 2012-69904	成膜装置および成膜方法	2012年 4月 5日
特開 2012-69364	電子銃および電子銃を用いた電子ビーム描画装置	2012年 4月 5日
特開 2012-69667	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2012年 4月 5日
特開 2012-69668	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2012年 4月 5日
特開 2012-59984	マスク検査装置及び露光用マスク製造装置	2012年 3月22日
特開 2012-54361	荷電粒子ビーム描画装置およびその照射量補正方法	2012年 3月15日
特開 2012-54362	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2012年 3月15日

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2012-77924 2012-72938 2012-69676 2012-69623 2012-68321 2012-69752 2012-69661 2012-69675 2012-69904 2012-69364 2012-69667 2012-69668 2012-59984 2012-54361 2012-54362

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