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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2013年 出願公開件数ランキング    第410位 100件 下降2012年:第343位 120件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第439位 82件 上昇2012年:第464位 75件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-51351 気相成長装置及び気相成長方法 2013年 3月14日
特開 2013-51350 気相成長方法及び気相成長装置 2013年 3月14日
特開 2013-48262 サセプタ、半導体製造装置及び半導体製造方法 2013年 3月 7日
特開 2013-45799 成膜装置および成膜方法 2013年 3月 4日
特開 2013-45876 ショットデータの作成方法、荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2013年 3月 4日
特開 2013-40873 パターン検査装置及びパターン検査方法 2013年 2月28日
特開 2013-42031 荷電粒子ビーム描画装置及び試料ずれ検出方法 2013年 2月28日
特開 2013-42092 薄膜処理方法 2013年 2月28日 共同出願
特開 2013-38225 成膜装置および成膜方法 2013年 2月21日
特開 2013-38397 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2013年 2月21日
特開 2013-38297 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2013年 2月21日
再表 2011-36801 電子ビーム記録装置 2013年 2月14日
特開 2013-30758 成膜装置および成膜方法 2013年 2月 7日 共同出願
特開 2013-26364 気相成長方法及び気相成長装置 2013年 2月 4日
特開 2013-26489 温度調整用マスク及び荷電粒子ビーム描画装置の温度調整方法 2013年 2月 4日

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2013-51351 2013-51350 2013-48262 2013-45799 2013-45876 2013-40873 2013-42031 2013-42092 2013-38225 2013-38397 2013-38297 2011-36801 2013-30758 2013-26364 2013-26489

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