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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第343位 120件
(2011年:第376位 103件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第464位 75件
(2011年:第886位 31件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2012-33697 | 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 | 2012年 2月16日 | |
特開 2012-28737 | 半導体製造装置、半導体製造方法及び半導体製造装置のクリーニング方法 | 2012年 2月 9日 | |
特開 2012-28385 | 半導体製造装置およびサセプタのクリーニング方法 | 2012年 2月 9日 | |
特開 2012-23279 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2012年 2月 2日 | |
特開 2012-18790 | 電子銃の駆動方法、電子ビーム描画装置および電子ビーム描画方法 | 2012年 1月26日 | |
特開 2012-15336 | 偏向アンプの評価方法および荷電粒子ビーム描画装置 | 2012年 1月19日 | |
特開 2012-15331 | 荷電粒子ビーム描画装置およびアースピン | 2012年 1月19日 | |
特開 2012-15249 | 荷電粒子ビーム描画装置およびその制御方法 | 2012年 1月19日 | |
特開 2012-15246 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2012年 1月19日 | |
特開 2012-15245 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2012年 1月19日 | |
特開 2012-15244 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2012年 1月19日 | |
特開 2012-2731 | 検査装置および検査方法 | 2012年 1月 5日 | |
特開 2012-4415 | 荷電粒子ビーム描画装置 | 2012年 1月 5日 | |
特開 2012-4413 | 荷電粒子ビーム描画装置および方法 | 2012年 1月 5日 | |
特開 2012-4241 | 荷電粒子ビーム描画装置 | 2012年 1月 5日 |
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2012-33697 2012-28737 2012-28385 2012-23279 2012-18790 2012-15336 2012-15331 2012-15249 2012-15246 2012-15245 2012-15244 2012-2731 2012-4415 2012-4413 2012-4241
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6月4日(水) -
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