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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特開 2013-165116	成膜装置	2013年 8月22日
特開 2013-163856	スパッタ装置	2013年 8月22日
特開 2013-165254	プラズマドーピング装置、プラズマドーピング方法、半導体素子の製造方法、および半導体素子	2013年 8月22日
特開 2013-165119	基板処理装置及び基板処理方法	2013年 8月22日
再表 2012-2232	プラズマ処理装置及び方法	2013年 8月22日
再表 2012-1848	半導体装置の製造方法	2013年 8月22日
特開 2013-162040	基板処理装置、これを備える塗布現像装置、及び基板処理方法	2013年 8月19日
特開 2013-162029	基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体	2013年 8月19日
特開 2013-160804	周縁露光装置、周縁露光方法及び記憶媒体	2013年 8月19日
特開 2013-162035	誘導結合プラズマ用アンテナユニット、誘導結合プラズマ処理装置および誘導結合プラズマ処理方法	2013年 8月19日
特開 2013-161946	基板処理装置及び基板処理方法	2013年 8月19日
特開 2013-161924	基板収容容器のパージ装置及びパージ方法	2013年 8月19日
特開 2013-161915	基板搬送装置、基板搬送方法及び記憶媒体	2013年 8月19日
特開 2013-161913	プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法	2013年 8月19日
特開 2013-161899	離脱制御方法及びプラズマ処理装置の制御装置	2013年 8月19日

712 件中 241-255 件を表示

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2013-165116 2013-163856 2013-165254 2013-165119 2012-2232 2012-1848 2013-162040 2013-162029 2013-160804 2013-162035 2013-161946 2013-161924 2013-161915 2013-161913 2013-161899

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