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東京エレクトロン株式会社
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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第56位 677件
（
2014年：第58位 686件）
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第51位 433件
（
2014年：第48位 694件）
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5692337 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 | 2015年 4月 1日 | |
| 特許 5692763 | シリコン膜の形成方法およびその形成装置 | 2015年 4月 1日 | |
| 特許 5692850 | 薄膜形成方法、薄膜形成装置及びプログラム | 2015年 4月 1日 | |
| 特許 5693348 | 成膜方法および成膜装置 | 2015年 4月 1日 | |
| 特許 5693438 | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 | 2015年 4月 1日 | |
| 特許 5693439 | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 | 2015年 4月 1日 | |
| 特許 5693807 | 基板処理装置用の部品及び皮膜形成方法 | 2015年 4月 1日 | |
| 特許 5694022 | 基板処理方法及び記憶媒体 | 2015年 4月 1日 | |
| 特許 5694118 | 液処理装置および液処理方法 | 2015年 4月 1日 | |
| 特許 5694721 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2015年 4月 1日 | |
| 特許 5695117 | プラズマエッチング方法 | 2015年 4月 1日 | |
| 特許 5688911 | 成膜装置、システム及び成膜方法 | 2015年 3月25日 | |
| 特許 5689047 | 基体処理システム用の基体搬送装置 | 2015年 3月25日 | |
| 特許 5689048 | 基板処理システム、基板搬送方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2015年 3月25日 | |
| 特許 5689096 | 基板搬送装置及び基板搬送方法並びに基板搬送用記憶媒体 | 2015年 3月25日 |
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5692337 5692763 5692850 5693348 5693438 5693439 5693807 5694022 5694118 5694721 5695117 5688911 5689047 5689048 5689096
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