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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6005604 | 現像処理装置 | 2016年10月12日 | |
特許 6006145 | 疎水化処理装置、疎水化処理方法及び疎水化処理用記録媒体 | 2016年10月12日 | |
特許 6006643 | 真空処理装置 | 2016年10月12日 | |
特許 6006685 | スリットノズル及び塗布装置及び塗布方法 | 2016年10月12日 | |
特許 6007141 | 基板処理装置、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2016年10月12日 | |
特許 6007143 | シャワーヘッド、プラズマ処理装置、及びプラズマ処理方法 | 2016年10月12日 | |
特許 6007155 | 現像処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び現像処理装置 | 2016年10月12日 | |
特許 6007171 | 基板処理システム、基板搬送方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2016年10月12日 | |
特許 6007715 | トラップ機構、排気系及び成膜装置 | 2016年10月12日 | |
特許 6000743 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2016年10月 5日 | |
特許 6000822 | 基板洗浄方法および基板洗浄システム | 2016年10月 5日 | |
特許 6001107 | 基板処理方法、この基板処理方法を実行するためのコンピュータプログラムが記録された記録媒体、および基板処理装置 | 2016年10月 5日 | |
特許 6001326 | プローブ装置及びプローブ装置用ウエハ載置台 | 2016年10月 5日 | |
特許 6001529 | プラズマエッチング装置及びプラズマエッチング方法 | 2016年10月 5日 | |
特許 6001932 | プラズマ処理装置及びフィルタユニット | 2016年10月 5日 |
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6005604 6006145 6006643 6006685 6007141 6007143 6007155 6007171 6007715 6000743 6000822 6001107 6001326 6001529 6001932
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11月26日(火) -
11月26日(火) -
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11月27日(水) -
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11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
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