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東京エレクトロン株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第61位 616件 下降2015年:第56位 677件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第49位 561件 上昇2015年:第51位 433件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6009171 基板処理装置 2016年10月19日
特許 6009858 基板処理装置及び基板処理方法 2016年10月19日
特許 6010161 アモルファスシリコン膜の成膜方法および成膜装置 2016年10月19日
特許 6010296 静電チャック 2016年10月19日
特許 6010305 誘導結合プラズマ用アンテナユニット、誘導結合プラズマ処理装置および誘導結合プラズマ処理方法 2016年10月19日
特許 6010387 半導体装置を形成するための方法 2016年10月19日
特許 6010406 マイクロ波放射機構、マイクロ波プラズマ源および表面波プラズマ処理装置 2016年10月19日
特許 6010433 基板載置台および基板処理装置 2016年10月19日
特許 6010451 成膜方法 2016年10月19日
特許 6010457 液処理装置および薬液回収方法 2016年10月19日
特許 6011323 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び記憶媒体 2016年10月19日
特許 6011417 成膜装置、基板処理装置及び成膜方法 2016年10月19日
特許 6011420 縦型熱処理装置の運転方法、縦型熱処理装置及び記憶媒体 2016年10月19日
特許 6005549 加熱処理装置及び加熱処理方法 2016年10月12日
特許 6005588 液処理装置 2016年10月12日

572 件中 151-165 件を表示

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6009171 6009858 6010161 6010296 6010305 6010387 6010406 6010433 6010451 6010457 6011323 6011417 6011420 6005549 6005588

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