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東京エレクトロン株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第61位 616件 下降2015年:第56位 677件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第49位 561件 上昇2015年:第51位 433件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6020239 成膜方法及び成膜装置 2016年11月 2日
特許 6020271 液処理装置 2016年11月 2日
特許 6020344 レジストパターン形成方法、塗布、現像装置、記憶媒体 2016年11月 2日
特許 6020405 処理液供給装置及び処理液供給方法 2016年11月 2日
特許 6020416 処理液供給装置及び処理液供給方法 2016年11月 2日
特許 6015738 処理装置、処理方法及び記憶媒体 2016年10月26日
特許 6016339 カーボンナノチューブの加工方法及び加工装置 2016年10月26日
特許 6016584 ロードロック装置 2016年10月26日
特許 6017134 生産効率化システム、生産効率化装置および生産効率化方法 2016年10月26日
特許 6017170 堆積物除去方法及びガス処理装置 2016年10月26日
特許 6017262 基板処理装置および基板処理方法 2016年10月26日
特許 6017328 載置台及びプラズマ処理装置 2016年10月26日
特許 6017338 液処理装置、洗浄用治具および洗浄方法 2016年10月26日
特許 6017359 ガス供給装置の制御方法および基板処理システム 2016年10月26日
特許 6017361 成膜方法および成膜装置 2016年10月26日

572 件中 121-135 件を表示

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6020239 6020271 6020344 6020405 6020416 6015738 6016339 6016584 6017134 6017170 6017262 6017328 6017338 6017359 6017361

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