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東京エレクトロン株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第67位 588件 上昇2017年:第83位 585件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第50位 503件 上昇2017年:第66位 431件)

(ランキング更新日:2025年2月18日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2018-170380 基板処理方法及び記憶媒体。 2018年11月 1日
特開 2018-170387 成膜方法及び縦型熱処理装置 2018年11月 1日
特開 2018-170407 エッチング方法およびエッチング装置 2018年11月 1日
特開 2018-170408 凹部の埋め込み方法および処理装置 2018年11月 1日
特開 2018-170409 選択成長方法 2018年11月 1日
特開 2018-170418 検査システム、ウエハマップ表示器、ウエハマップ表示方法、およびコンピュータプログラム 2018年11月 1日
特開 2018-170436 基板処理装置 2018年11月 1日
特開 2018-170465 現像方法、現像装置及び記憶媒体 2018年11月 1日
特開 2018-170466 基板処理システム、制御装置、群コントローラ及びホストコンピュータ 2018年11月 1日
特開 2018-170468 縦型熱処理装置 2018年11月 1日
特開 2018-170473 半導体装置の製造方法 2018年11月 1日
特開 2018-170499 基板処理装置及び基板処理方法。 2018年11月 1日
特表 2018-531506 サブ解像度基板パターニングのためのエッチングマスクを形成する方法 2018年10月25日
特開 2018-166135 塗布処理装置 2018年10月25日
特開 2018-166147 エッチング方法及び記録媒体 2018年10月25日

591 件中 121-135 件を表示

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2018-170380 2018-170387 2018-170407 2018-170408 2018-170409 2018-170418 2018-170436 2018-170465 2018-170466 2018-170468 2018-170473 2018-170499 2018-531506 2018-166135 2018-166147

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