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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2019-504467 マイクロ波プラズマによりナノワイヤの角を丸め、調整する方法 2019年 2月14日
特開 2019-23329 ガス処理装置 2019年 2月14日
特開 2019-24043 シリコン酸化膜を除去する方法 2019年 2月14日
特開 2019-24125 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2019年 2月14日
特開 2019-24129 基板処理方法 2019年 2月14日
特開 2019-24139 多孔質膜をエッチングする方法 2019年 2月14日
再表 2017-169155 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 2019年 2月 7日
特開 2019-20067 被処理体の処理装置、及び、処理装置の検査方法 2019年 2月 7日
特開 2019-21674 基板処理システム、および基板処理方法 2019年 2月 7日
特開 2019-21707 伝熱シート及び基板処理装置 2019年 2月 7日
特開 2019-21708 プラズマ処理装置用部品の溶射方法及びプラズマ処理装置用部品 2019年 2月 7日
特開 2019-21747 基板位置調整方法、記憶媒体及び基板処理システム 2019年 2月 7日
特開 2019-21803 プラズマ処理装置 2019年 2月 7日
特開 2019-21804 検査システム 2019年 2月 7日
特開 2019-21806 基板加熱装置及び基板加熱方法 2019年 2月 7日

665 件中 586-600 件を表示

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2019-504467 2019-23329 2019-24043 2019-24125 2019-24129 2019-24139 2017-169155 2019-20067 2019-21674 2019-21707 2019-21708 2019-21747 2019-21803 2019-21804 2019-21806

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