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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6479562 プラズマ処理装置の処理条件生成方法及びプラズマ処理装置 2019年 3月 6日
特許 6479641 基板処理装置および基板処理方法 2019年 3月 6日
特許 6480009 基板液処理装置、基板液処理方法および記憶媒体 2019年 3月 6日
特許 6476215 減圧乾燥装置、減圧乾燥方法及びベーク処理システム 2019年 2月27日
特許 6476246 高周波電力結合システムおよびその作動方法 2019年 2月27日
特許 6472356 熱処理装置 2019年 2月20日
特許 6472726 基板液処理装置、基板液処理方法及び記憶媒体 2019年 2月20日
特許 6467722 プローバ 2019年 2月13日
特許 6468147 研磨装置、塗布膜形成装置、塗布膜形成方法及び記憶媒体 2019年 2月13日
特許 6468213 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2019年 2月13日
特許 6468884 排気システム 2019年 2月13日
特許 6468901 基板処理装置 2019年 2月13日
特許 6468955 シリコン含有膜の成膜方法及び成膜装置 2019年 2月13日
特許 6464413 基板の複数の接触開口をパターニングする方法 2019年 2月 6日
特許 6464765 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 2019年 2月 6日

418 件中 346-360 件を表示

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6479562 6479641 6480009 6476215 6476246 6472356 6472726 6467722 6468147 6468213 6468884 6468901 6468955 6464413 6464765

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