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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6496579 基板処理方法及び基板処理装置 2019年 4月 3日
特許 6489034 基板搬送装置及び基板搬送方法 2019年 3月27日
特許 6486033 有機EL素子封止膜の形成方法 2019年 3月20日
特許 6486092 プラズマエッチング方法 2019年 3月20日
特許 6486154 基板保持具及びこれを用いた基板処理装置 2019年 3月20日
特許 6486160 熱処理装置 2019年 3月20日
特許 6486207 プラズマ処理装置 2019年 3月20日
特許 6481363 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 2019年 3月13日
特許 6481598 塗布膜形成方法、塗布膜形成装置及び記憶媒体 2019年 3月13日
特許 6481636 熱板の温度測定装置及び熱板の温度測定方法 2019年 3月13日
特許 6481644 基板処理方法、基板処理装置及び記憶媒体 2019年 3月13日
特許 6481994 画素電極のパターン形成方法および形成システム 2019年 3月13日
特許 6482390 電力合成器およびマイクロ波導入機構 2019年 3月13日
特許 6482597 現像方法、現像装置、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2019年 3月13日
特許 6482972 基板処理装置および基板処理方法 2019年 3月13日

418 件中 316-330 件を表示

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6496579 6489034 6486033 6486092 6486154 6486160 6486207 6481363 6481598 6481636 6481644 6481994 6482390 6482597 6482972

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