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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第43位 773件
(2019年:第58位 660件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第54位 436件
(2019年:第58位 415件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2020-80359 | 成膜装置及び成膜方法 | 2020年 5月28日 | |
特開 2020-80364 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2020年 5月28日 | |
特開 2020-80375 | 磁気抵抗素子の製造方法及び製造装置 | 2020年 5月28日 | |
特開 2020-80394 | 半導体メモリの製造方法 | 2020年 5月28日 | |
特開 2020-80395 | プラズマ処理装置 | 2020年 5月28日 | |
特開 2020-80397 | デバイスの製造方法 | 2020年 5月28日 | |
特開 2020-80407 | 基板搬送装置および基板搬送装置の異常検出方法 | 2020年 5月28日 | |
特表 2020-515063 | エッチングメトリックを向上させるための表面改質制御 | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-76122 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77653 | 載置台、エッジリングの位置決め方法及び基板処理装置 | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77654 | 載置台及び基板処理装置 | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77657 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77659 | 被処理体の処理方法及びプラズマ処理装置 | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77667 | 基板処理装置、基板収容容器の蓋を開閉する方法、及びプログラム | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77669 | 基板処理装置 | 2020年 5月21日 |
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2020-80359 2020-80364 2020-80375 2020-80394 2020-80395 2020-80397 2020-80407 2020-515063 2020-76122 2020-77653 2020-77654 2020-77657 2020-77659 2020-77667 2020-77669
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2月25日(火) -
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3月4日(火) -
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3月5日(水) -
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3月6日(木) -
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3月6日(木) - 東京 港区
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3月7日(金) - 東京 港区
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