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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第43位 773件
(2019年:第58位 660件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第54位 436件
(2019年:第58位 415件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2020-77675 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77716 | 検査装置及び検査方法 | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77750 | クリーニング方法及び成膜方法 | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77751 | 成膜方法及び半導体製造装置 | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77752 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77753 | 処理方法及び基板処理装置 | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77785 | 基板支持器、プラズマ処理装置、及びフォーカスリング | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77786 | 基板支持器及びプラズマ処理装置 | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77813 | 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77862 | エッチング方法及びプラズマ処理装置 | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77880 | 基板処理システム | 2020年 5月21日 | |
特開 2020-77885 | 基板処理装置 | 2020年 5月21日 | |
再表 2018-186451 | 基板処理装置および基板搬送方法 | 2020年 5月14日 | |
再表 2018-203478 | 有機ELディスプレイの製造方法 | 2020年 5月14日 | |
特表 2020-513647 | 製造プロセスにおける粒子によって誘発されるアークの検出のための組成発光分光分析 | 2020年 5月14日 |
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2020-77675 2020-77716 2020-77750 2020-77751 2020-77752 2020-77753 2020-77785 2020-77786 2020-77813 2020-77862 2020-77880 2020-77885 2018-186451 2018-203478 2020-513647
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