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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第43位 773件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第54位 436件 上昇2019年:第58位 415件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-77675 基板処理方法及び基板処理装置 2020年 5月21日
特開 2020-77716 検査装置及び検査方法 2020年 5月21日
特開 2020-77750 クリーニング方法及び成膜方法 2020年 5月21日
特開 2020-77751 成膜方法及び半導体製造装置 2020年 5月21日
特開 2020-77752 基板処理装置及び基板処理方法 2020年 5月21日
特開 2020-77753 処理方法及び基板処理装置 2020年 5月21日
特開 2020-77785 基板支持器、プラズマ処理装置、及びフォーカスリング 2020年 5月21日
特開 2020-77786 基板支持器及びプラズマ処理装置 2020年 5月21日
特開 2020-77813 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 2020年 5月21日
特開 2020-77862 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2020年 5月21日
特開 2020-77880 基板処理システム 2020年 5月21日
特開 2020-77885 基板処理装置 2020年 5月21日
再表 2018-186451 基板処理装置および基板搬送方法 2020年 5月14日
再表 2018-203478 有機ELディスプレイの製造方法 2020年 5月14日
特表 2020-513647 製造プロセスにおける粒子によって誘発されるアークの検出のための組成発光分光分析 2020年 5月14日

777 件中 496-510 件を表示

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2020-77675 2020-77716 2020-77750 2020-77751 2020-77752 2020-77753 2020-77785 2020-77786 2020-77813 2020-77862 2020-77880 2020-77885 2018-186451 2018-203478 2020-513647

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