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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第43位 773件
(2019年:第58位 660件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第54位 436件
(2019年:第58位 415件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2020-64995 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2020年 4月23日 | |
特開 2020-65003 | 基板処理装置、及び搬送位置補正方法 | 2020年 4月23日 | |
特開 2020-65012 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2020年 4月23日 | |
特開 2020-65013 | 終点検出方法および終点検出装置 | 2020年 4月23日 | |
特開 2020-65031 | 酸化処理モジュール、基板処理システム及び酸化処理方法 | 2020年 4月23日 | |
特開 2020-65032 | シリコン窒化膜の成膜方法、および成膜装置 | 2020年 4月23日 | |
特開 2020-65033 | フィルタユニットの調整方法およびプラズマ処理装置 | 2020年 4月23日 | |
再表 2018-235411 | 検査システム | 2020年 4月16日 | |
再表 2018-235619 | 基板処理システム、基板処理方法及びコンピュータ記憶媒体 | 2020年 4月16日 | |
再表 2019-9054 | 基板処理システム、基板洗浄方法および記憶媒体 | 2020年 4月16日 | |
特開 2020-59910 | 原料ガス供給装置、成膜装置及び原料ガス供給方法 | 2020年 4月16日 | |
特開 2020-59911 | 成膜方法及び基板処理システム | 2020年 4月16日 | |
特開 2020-59916 | 表面処理方法及び処理システム | 2020年 4月16日 | |
特開 2020-60367 | 乾燥装置及び乾燥処理方法 | 2020年 4月16日 | |
特開 2020-60481 | 回転角度検出装置及び回転角度検出方法、並びにこれらを用いた基板処理装置及び基板処理方法 | 2020年 4月16日 |
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2020-64995 2020-65003 2020-65012 2020-65013 2020-65031 2020-65032 2020-65033 2018-235411 2018-235619 2019-9054 2020-59910 2020-59911 2020-59916 2020-60367 2020-60481
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2月25日(火) -
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2月26日(水) -
2月26日(水) -
2月26日(水) - 東京 港区
2月26日(水) -
2月26日(水) - 千葉 船橋市
2月27日(木) -
2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 港区
2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 千代田区
2月25日(火) -
3月4日(火) - 東京 港区
3月4日(火) -
3月4日(火) -
3月4日(火) -
3月5日(水) -
3月5日(水) -
3月6日(木) -
3月6日(木) - 東京 品川区
3月6日(木) - 東京 港区
3月6日(木) -
3月7日(金) -
3月7日(金) - 東京 港区
3月7日(金) -
3月7日(金) -
3月4日(火) - 東京 港区
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