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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2020-54973	基板処理装置および基板処理方法	2020年 4月 9日
特開 2020-56095	基板処理装置	2020年 4月 9日
特開 2020-56115	溶射用材料、溶射皮膜および溶射皮膜付部材	2020年 4月 9日
特開 2020-57696	プラズマ処理装置及び静電吸着方法	2020年 4月 9日
特開 2020-57704	インジェクタ及びこれを用いた基板処理装置、並びに基板処理方法	2020年 4月 9日
特開 2020-57712	プラズマ処理装置、及びリング部材の厚さ測定方法	2020年 4月 9日
特開 2020-57763	基板処理装置および基板処理方法	2020年 4月 9日
再表 2018-216476	基板処理装置および基板処理方法	2020年 4月 2日
再表 2018-220896	サイクロン捕集器	2020年 4月 2日
特開 2020-49400	ドライエアーの生成装置、ドライエアーの生成方法、および基板処理システム	2020年 4月 2日
特開 2020-49568	搬送装置、半導体製造装置及び搬送方法	2020年 4月 2日
特開 2020-50915	成膜装置および温度制御方法	2020年 4月 2日
特開 2020-50949	成膜方法及び基板処理システム	2020年 4月 2日
特開 2020-51859	基板検査方法、基板検査装置および記録媒体	2020年 4月 2日
特開 2020-53133	プラズマ測定部材およびプラズマ測定方法	2020年 4月 2日

777 件中 571-585 件を表示

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2020-54973 2020-56095 2020-56115 2020-57696 2020-57704 2020-57712 2020-57763 2018-216476 2018-220896 2020-49400 2020-49568 2020-50915 2020-50949 2020-51859 2020-53133

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